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英国Malvern马尔文新一代高分辨X射线衍射仪
英国Malvern马尔文新一代高分辨X射线衍射仪
X射线散射系统
提高性能和可靠性
全晶圆映射可达 100 毫米
马尔文帕纳科新一代 X'Pert³ MRD 高分辨X射线衍射仪其可靠性的增强及性能的改进提高了分析能力，提供一体化解决方案来满足不同需求和应用：=
半导体和单晶晶圆：倒易空间探索、摇摆曲线分析
多晶固体和薄膜：织构分析、反射测量
超薄薄膜、纳米材料和非晶层：掠入射物相鉴定、面内衍射
非常温条件下的测量：随温度和时间变化的峰高
X'Pert3MRD 经过专门设计，符合现代材料研发实验室的要求。X'Pert3MRD 的开发重点考虑了薄膜应用的需要，因此提供了多种样品架，可容纳直径达 200 mm 的晶圆，亦能用于晶圆表面的多点扫描。其大型样品台可以装载多个样品。
X'Pert3 MRD 将新技术融入到了测角仪轴承设计和位置编码中，从而提高了整体性能。在测角仪轴承上应用的创新成果改进了黏滑行为，即使是在高负载条件下，也能够极其流畅地作旋转移动。在 omega 和 2theta 轴上使用了 Heidenhain 光学编码器，因而改进了短距离和长距离准确性，并且同时提高了位置报告和测角仪定位的速度。
X'Pert3 MRD 的欧拉环样品台可实现高精度、可重复且无障碍的移动，方便进行样品旋转、倾斜以及 x 轴、y 轴和 z 轴平移，确保为要求严格的 XRD 应用实现用途广泛且准确的样品定位。
专为研究和开发而定制
适用于薄膜样品、晶圆和固体材料
完整的晶圆测绘可达 100 毫米
多功能、灵活的样品定位
用于光学元件的可选延长臂
使用 Heidenhain 编码器的新型高分辨率测角仪具有出色的精度
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