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日本新宇宙COSMOS半导体材料气体探测器

便携式半导体材料气体检测器,带可更换传感器单元。
传感器单元可随时更换,可在一台设备中检测多种气体类型
小的便携式吸气检测器,具备NF3检测功能
无需校准气体探测器,减少维护时间和成本
警报声会根据气体浓度的变化缓慢且间歇性地加速,当浓度升高时,会以持续的声音通知
CE标准一致性
用于半导体工厂中半导体材料气体泄漏的检测
◆便携式半导体材料气体探测器 XP-703DIII
◆ 固定式(传感器单元交换方法)半导体材料气体检测单元 PS-8
日本新宇宙COSMOS半导体材料气体探测器
| 靶气 | 半导体材料气体 |
|---|---|
| 检测原理 | 恒压电解电解 |
| 气体提取方法 | 自动吸力 |
| 探测范围 | 按规格 |
| 警报 | [警报设定点] 根据规格 [报警系统] 蜂鸣器响起,警告灯(红色)闪烁,LCD闪烁显示 |
| 响应时间 | 60秒内(60%响应率) |
| 尺寸 | W62×H150×D128mm(不包括突出部) |
| 质量 | 约1.3公斤 |
| 工作温度范围 | 0°C~+40°C |
| 连续使用时间 | 超过12小时(使用NF3传感器单元时超过8小时) *在无报警时使用20°C的碱性电池。 这取决于环境条件、使用情况、保质期、电池制造商等。 |
中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌认证。