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德国BUSCH普旭干式螺杆真空泵
性能出色
螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用
高效
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效间接水冷却
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上
中崎目前已获得NPM脉冲、CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齿轮、KAKUHUNTER写真化学、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克斯、REVOX莱宝克斯、NITTO KOHKI日东工器、ATAGO爱拓、SONIC索尼克、SIGMA西格玛、SUGIYAMA杉山电机、HAYASHI林时计、ORIHARA折原、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、AND爱安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日等多家品牌认证。
德国BUSCH普旭干式螺杆真空泵
| 技术参数 | COBRA DS 3181 C |
|---|---|
| 额定抽速 | 3500 m³/h |
| 极限压力 | 0.001 hPa (mbar) |
| 前级泵电机额定功率 | 18.5 kW |
| 罗茨真空泵电机额定功率 | 15.0 kW |
| 功耗（怠速模式） | 10.3 kW |
| 极限压力时的功耗 | 12.4 kW |
| 前级泵电机额定转速 | 4220 min⁻¹ |
| 罗茨真空泵电机额定转速 | 5400 min⁻¹ |
| 声压级（ISO 2151），KpA = 3 dB | < 75 dB(A) |
| 耗水量 | 10 l/min |
| 氮气消耗量 | 0 – 200 l/min |
| 重量（约） | 1500 kg |
| 尺寸（L x W x H） | 1654 x 722 x 1452 mm |
| 进气口 | DN 160 |
| 排气口 | DN 63 |
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